本標(biāo)準(zhǔn)給出了硅多晶、硅單晶、硅片和硅外延片等硅材料的各種原生缺陷及其密切相關(guān)誘生缺陷的術(shù)語及其形貌特征圖譜。分析了其產(chǎn)生的原因和消除方法。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于硅多晶、硅單晶、硅片和硅外延片等硅材料生產(chǎn)研究中各種缺陷的檢驗(yàn)。硅器件、集成電路的生產(chǎn)研究也可參考本標(biāo)準(zhǔn)。