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氮化鎵單晶位錯密度的測量 陰極熒光顯微鏡法

標(biāo) 準(zhǔn) 號： GB/T 32282-2015
替代情況：
發(fā)布單位： 中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局 中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會
起草單位： 中國科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所、蘇州納維科技有限公司
發(fā)布日期： 2015-12-10
實施日期： 2016-11-01
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更新日期： 2025年01月20日
內(nèi)容摘要

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了用陰極熒光顯微鏡法測試氮化鎵單晶位錯密度的方法。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于位錯密度在1×103 個/cm2~5×108 個/cm2 之間的氮化鎵單晶中位錯密度的測試。

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