那曲绦匀投资有限公司

安全管理網(wǎng)

現(xiàn)行
導(dǎo)航：安全管理網(wǎng)>> 安全標準>> 行業(yè)標準>> 其他>>正文

硅基MEMS制造技術(shù) 基于SOI硅片的MEMS工藝規(guī)范

標 準 號： GB/T 32814-2016
替代情況：
發(fā)布單位： 中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
起草單位： 西北工業(yè)大學(xué)、中機生產(chǎn)力促進中心
發(fā)布日期： 2016-08-29
實施日期： 2017-03-01
點 擊 數(shù)：
更新日期： 2025年01月15日
內(nèi)容摘要

本標準規(guī)定了采用SOI硅片進行MEMS器件加工時應(yīng)遵循的工藝要求和質(zhì)量檢驗要求。本標準適用于硅基MEMS制造技術(shù)中基于SOI硅片的MEMS器件的加工和質(zhì)量檢驗。

如需幫助，請聯(lián)系我們。聯(lián)系電話400-6018-655。
網(wǎng)友評論 more
創(chuàng)想安科網(wǎng)站簡介會員服務(wù)廣告服務(wù)業(yè)務(wù)合作提交需求會員中心在線投稿版權(quán)聲明友情鏈接聯(lián)系我們
墨江| 玛多县| 唐山市| 南安市| 无为县| 德惠市| 翼城县| 巨鹿县| 田阳县| 黑河市| 涪陵区| 图们市| 泸水县| 吉林省| 嘉峪关市| 郓城县| 安国市| 宜章县| 临澧县| 泽库县| 布尔津县| 晋江市| 温州市| 建阳市| 平原县| 修水县| 永善县| 济源市| 西华县| 沙湾县| 汽车| 伊通| 西畴县| 德庆县| 东丰县| 黄平县| 喀喇沁旗| 芒康县| 宁城县| 泰和县| 邵阳市|