本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了采用以深刻蝕與鍵合為核心的工藝集成進(jìn)行MEMS器件加工時應(yīng)遵循的工藝要求和質(zhì)量檢驗要求。本標(biāo)準(zhǔn)適用于基于以深刻蝕與鍵合為核心的工藝集成的加工和質(zhì)量檢驗。