主要危險危害因素分析
　　1、物質(zhì)的危險危害
　　芯片生產(chǎn)過程中，使用多種化學物品，廠區(qū)內(nèi)設有儲存這些化學物品的化學品庫，化學品種類達80種。按照GB13690-92《常用危險化學品的分類及標志》規(guī)定中對常用危險化學品，按其主要危險特性進行分類，該項目中使用的危險化學品有壓縮氣體和液化氣體，易燃液體、氧化劑、有毒品、腐蝕品等類別，這些物質(zhì)的主要危險危害為：
　　1）有毒有害氣體（如AsH3、PH3、SiH4、CO等）如泄漏與空氣混合遇明火易燃爆，有的可在空氣中自燃，有的可致人中毒、凍傷、窒息、直至死亡。
　　2）易燃液體（如丙酮、異丙醇等）如泄漏、揮發(fā)與空氣混合形成爆炸氣體遇明火、熱源可引發(fā)火災爆炸。
　　3）氧化劑（如過氧化氫等）如泄漏與有機物還原劑、易燃物接觸可引起火災爆炸。
　　4）腐蝕品（如酸類、堿類等）如泄漏與人體接觸可引起化學灼傷。