本標準規(guī)定了半導體器件和集成電路制造用硅退火拋光片的要求、試驗方法、檢驗規(guī)則等。
本標準適用于線寬180nm、130nm 和90nm 工藝退火硅片。
鋼渣碳酸化固定二氧化碳含量的測定方法軌道列車用鎂合金擠壓型材汽車密封條用鋁合金帶材口罩鼻夾用鋁及鋁合金帶材鋁合金時效析出相的檢驗 透射電鏡法鋁合金鑄錠均勻化效果評價方法鈣線坯及線材鈣線坯及線材
煉鋼安全規(guī)程【作廢】煉鐵安全規(guī)程【作廢】軋鋼安全規(guī)程【作廢】煉鐵廠衛(wèi)生防護距離標準【作廢】鋼鐵及合金中碳量的測定【作廢】銅精礦【作廢】鈾礦冶設施退役環(huán)境管理技術規(guī)定鋼鐵及合金中硫量的測定
