本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了濺射用靶材-背板結(jié)合質(zhì)量超聲縱波脈沖反射液浸法C掃描檢驗技術(shù)的一般方法。內(nèi)容包括一般要求、檢驗設(shè)備、對比試塊、檢驗過程、缺陷評定及檢驗報告等。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于用中間層材料結(jié)合方式（如軟釬焊、硬釬焊和環(huán)氧樹脂粘接等）的濺射靶材-背板結(jié)合面的孔洞、未結(jié)合、氧化物夾雜等缺陷的檢驗。其他用途的材料結(jié)合質(zhì)量無損檢測也可參照使用。