本標準規(guī)定了鎳鉑靶材的要求、試驗方法、檢驗規(guī)則和標志、包裝、運輸、貯存、質量證明書及合同(或訂貨單)內容。
本標準適用于半導體薄膜用的各類鎳鉑靶材。
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