本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了用于先進(jìn)集成電路光刻工藝綜合評估的標(biāo)準(zhǔn)測試圖形單元的形狀、一般尺寸,以及推薦的布局和設(shè)計規(guī)則,這些標(biāo)準(zhǔn)測試圖形包括可供光學(xué)顯微鏡和掃描電子顯微鏡用的各種圖形單元。
本標(biāo)準(zhǔn)適用集成電路的工藝、常規(guī)掩模版、光致抗蝕劑和光刻機(jī)的特征和能力作出評價及交替移相掩模版相位測量,適用于g線、i線、KrF、ArF等波長的光刻設(shè)備及相應(yīng)的光刻工藝。
用于先進(jìn)集成電路光刻工藝綜合評估的…家庭網(wǎng)絡(luò) 第1部分：系統(tǒng)體系結(jié)構(gòu)及參…家庭網(wǎng)絡(luò) 第2部分：控制終端規(guī)范家庭網(wǎng)絡(luò) 第3部分：內(nèi)部網(wǎng)關(guān)規(guī)范家庭網(wǎng)絡(luò) 第4部分：終端設(shè)備規(guī)范 音…家庭網(wǎng)絡(luò) 第6部分：多媒體與數(shù)據(jù)網(wǎng)絡(luò)…家庭網(wǎng)絡(luò) 第7部分：控制網(wǎng)絡(luò)通信協(xié)議家庭網(wǎng)絡(luò) 第8部分：設(shè)備描述文件規(guī)范…
