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拋光設備工藝驗證方法

標準號： SJ 21259-2018

替代情況：

發(fā)布單位：國家國防科技工業(yè)局

起草單位：中國電子科技集團公司

發(fā)布日期： 2018-01-18

實施日期： 2018-05-01

點擊數：

更新日期： 2022年09月17日

內容摘要

本標準規(guī)定了拋光設備工藝驗證的一般要求、驗證條件和驗證方法等內容。

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Tag:安全標準.設備.拋光相關內容

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