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金屬有機(jī)物化學(xué)氣相淀積（MOCVD）設(shè)備工藝驗證方法

標(biāo) 準(zhǔn) 號： SJ 21260-2018
替代情況：
發(fā)布單位： 國家國防科技工業(yè)局
起草單位： 中國電子科技集團(tuán)公司第十三研究所
發(fā)布日期： 2018-01-18
實(shí)施日期： 2018-05-01
點(diǎn) 擊 數(shù)：
更新日期： 2022年09月17日
內(nèi)容摘要

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了金屬有機(jī)物化學(xué)氣相淀積(MOCVD)設(shè)備工藝驗證的一般要求、試驗條件和驗證方法等內(nèi)容。


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