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高純四氧化硅

標(biāo) 準(zhǔn) 號: SJ 2593-1985
替代情況:
發(fā)布單位: 中華人民共和國電子工業(yè)部
起草單位:
發(fā)布日期: 1985-07-31
實(shí)施日期: 1986-01-01
點(diǎn) 擊 數(shù):
更新日期: 2022年06月21日
內(nèi)容摘要

本標(biāo)準(zhǔn)適用于生長半導(dǎo)體器件及集成電路的硅外延片和生產(chǎn)光通訊器件用光纖予制件的四氯化硅。


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