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高純四氯化硅中痕量磷的分光光度比色測試方法

標(biāo) 準(zhǔn) 號： SJ 2595-1985

替代情況：

發(fā)布單位：中華人民共和國電子工業(yè)部

起草單位： —

發(fā)布日期： 1985-07-31

實施日期： 1984-01-01

點擊數(shù)：

更新日期： 2022年06月21日

內(nèi)容摘要

本方法適用于生長半導(dǎo)體器件及電路用硅外延片、多晶硅和光通訊器件用光纖予制件的高純四氯化硅中磷含量的測試方法。

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Tag:安全標(biāo)準(zhǔn).四氯化硅相關(guān)內(nèi)容

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