本文件規(guī)定了本征薄膜異質(zhì)結(jié)電池用等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積（PECVD）設(shè)備（以下簡稱“PECVD設(shè)備”）的術(shù)語和定義、工作環(huán)境、設(shè)備要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則以及包裝、標(biāo)志、搬運(yùn)和運(yùn)輸、貯存等。