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半導(dǎo)體設(shè)備隔振系統(tǒng)設(shè)計及技術(shù)要求

標(biāo) 準(zhǔn) 號： T/CI 334-2024
替代情況：
發(fā)布單位： 中國國際科技促進(jìn)會
起草單位： 上海大學(xué)力學(xué)與工程科學(xué)學(xué)院、上海大學(xué)微電子學(xué)院、中國科學(xué)院上海技術(shù) 物理研究所、上海衛(wèi)星工程研究所
發(fā)布日期： 2024-04-18
實施日期： 2024-04-18
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更新日期： 2024年07月15日
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內(nèi)容摘要

本文件規(guī)定了半導(dǎo)體設(shè)備用隔振系統(tǒng)的設(shè)計程序、結(jié)構(gòu)型式和技術(shù)要求。

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