本文件規(guī)定了TDR系列單晶生長爐的術語和定義、產品分類、基本要求、技術要求、對設計和制造的補充要求、試驗方法、檢驗規(guī)則、標志、包裝、運輸、貯存、訂購與供貨、質量承諾。