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關(guān)鍵尺寸掃描電子顯微鏡 校準(zhǔn)規(guī)范

標(biāo) 準(zhǔn) 號: JJF(冀) 213-2023
替代情況:
發(fā)布單位: 河北省市場監(jiān)督管理局
起草單位: 中電國基北方有限公司
發(fā)布日期: 2023-08-02
實施日期: 2023-11-01
點 擊 數(shù):
更新日期: 2023年08月19日
內(nèi)容摘要

本規(guī)范適用于放大倍數(shù)20k~200k 的關(guān)鍵尺寸掃描電子顯微鏡(CD-SEM)的校準(zhǔn)。


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