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電子級多晶硅

標(biāo) 準(zhǔn) 號: GB/T 12963-2022
替代情況: 替代 GB/T 12963-2014
發(fā)布單位: 國家市場監(jiān)督管理總局 國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會
起草單位: 麥斯克電子材料股份有限公司、亞洲硅業(yè)(青海)股份有限公司等
發(fā)布日期: 2022-12-30
實施日期: 2023-07-01
點 擊 數(shù):
更新日期: 2023年02月26日
內(nèi)容摘要

本文件規(guī)定了電子級多晶硅的牌號和類別、技術(shù)要求、試驗方法、檢驗規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運輸、貯存、隨行文件和訂貨單內(nèi)容。本文件適用于以氯硅烷、硅烷制得的電子級多晶硅(以下簡稱“多晶硅”)。

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