本文件描述了氮化鋁單晶中痕量鎂和鎵含量及分布的二次離子質(zhì)譜測(cè)試方法。
本文件適用于氮化鋁單晶中痕量鎂和鎵含量及分布的定量測(cè)定，測(cè)定范圍為鎂、鎵的含量均不小于1×1016 cm-3，元素含量（原子個(gè)數(shù)百分比）不大于1%。
注：氮化鋁單晶中待測(cè)元素的含量以每立方厘米中的原子個(gè)數(shù)計(jì)。