本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了硅烷法生產(chǎn)多晶硅尾氣中硅烷含量的氣相色譜測(cè)定方法。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于硅烷法生產(chǎn)多晶硅尾氣中硅烷含量的測(cè)定。測(cè)定范圍為0.050%～10.00%。