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硅多晶真空區(qū)熔基硼檢驗(yàn)方法

標(biāo) 準(zhǔn) 號(hào)： GB/T 4060-2018
替代情況： 替代 GB/T 4060-2007
發(fā)布單位： 國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局 國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
起草單位： 江蘇中能硅業(yè)科技發(fā)展有限公司、亞洲硅業(yè)(青海)有限公司、洛陽(yáng)中硅高科技有限公司、峨嵋半導(dǎo)體材料研究所
發(fā)布日期： 2018-09-17
實(shí)施日期： 2019-06-01
點(diǎn) 擊 數(shù)：
更新日期： 2019年06月03日
內(nèi)容摘要

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了多晶硅中基硼含量的測(cè)試方法。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于在硅芯上沉積生長(zhǎng)的多晶硅棒中基硼含量的測(cè)定，測(cè)定范圍：0.01×1013atoms/cm3～5×1015atoms/cm3。

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