本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子薄膜用高純鈦濺射靶材的要求、試驗方法、檢驗規(guī)則和標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存及質(zhì)量證明與合同(訂單)等內(nèi)容。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于電子薄膜制造用的各類鈦濺射靶材。