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本標準規(guī)定了對TDR-Z直拉法鍺單晶爐產品的型號品種規(guī)格、技術要求、試驗方法、檢驗規(guī)則、標志、包裝、運輸、存儲以及定購和供貨等。 本標準適用于直拉法拉制鍺單晶的晶體爐。