本標準規(guī)定了用以制備薄膜的濺射用鉭靶材的要求、試驗方法、檢驗規(guī)則及標志、包裝、運輸、貯存、質(zhì)量證明書和訂貨單(或合同)內(nèi)容。
本標準適用于以真空電子束熔煉的高純鉭錠為原料,通過塑性加工、熱處理、機械加工、焊接等方法制造的濺射用鉭靶材。