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電子薄膜用高純鎢及鎢合金濺射靶材

標(biāo) 準(zhǔn) 號(hào): YS/T 1025-2015
替代情況:
發(fā)布單位: 中華人民共和國(guó)工業(yè)和信息化部
起草單位: 寧波江豐電子材料股份有限公司、有研億金新材料有限公司、北京天龍鎢鉬科技股份有限公司
發(fā)布日期: 2015-04-30
實(shí)施日期: 2015-10-01
點(diǎn) 擊 數(shù):
更新日期: 2018年05月10日
內(nèi)容摘要

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子薄膜用高純鎢及鎢合金濺射靶材的要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸存貯、訂貨單(或合同)等內(nèi)容。本標(biāo)準(zhǔn)適用于電子薄膜用高純鎢及鎢合金濺射靶材,簡(jiǎn)稱高純鎢及鎢合金靶。

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