本標準規(guī)定了測定硅外延層和擴散層厚度的磨角染色法。
本標準適用于外延層和擴散層與襯底導電類型不同或兩層電阻率相差至少一個數(shù)量級的任意電阻率的硅外延層和擴散層厚度的測量，測量范圍：1μm～100μm。
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