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磁控濺射用釕靶

標(biāo) 準(zhǔn) 號(hào)： GB/T 34649-2017
替代情況：
發(fā)布單位： 中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局 中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
起草單位： 有色金屬技術(shù)經(jīng)濟(jì)研究院
發(fā)布日期： 2017-09-29
實(shí)施日期： 2018-04-01
點(diǎn) 擊 數(shù)：
更新日期： 2018年01月12日
內(nèi)容摘要

本標(biāo)準(zhǔn)適用于微電子領(lǐng)域鍍膜用磁控濺射用釕靶（以下簡(jiǎn)稱(chēng)釕靶）。

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