本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了太陽(yáng)能級(jí)硅片和硅料中氧、碳、硼和磷元素體含量的二次離子質(zhì)譜（SIMS）檢測(cè)方法。?本標(biāo)準(zhǔn)適用于檢測(cè)各元素體含量不隨深度變化、且不考慮補(bǔ)償?shù)奶?yáng)能級(jí)單晶或多晶硅片或硅料中氧、碳、硼和磷元素的體含量。各元素體含量的檢測(cè)上限均為0.2%（即＜1×10??20? atoms/cm?3），檢測(cè)下限分別為氧含量≥5×10??16? atoms/cm?3、碳含量≥1×10??16? atoms/cm?3、硼含量≥1×10??14? atoms/cm?3和磷含量≥2×10??14? atoms/cm?3。四種元素體含量的測(cè)定可使用配有銫一次離子源的SIMS儀器一次完成。