本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了采用SOI硅片進(jìn)行MEMS器件加工時(shí)應(yīng)遵循的工藝要求和質(zhì)量檢驗(yàn)要求。本標(biāo)準(zhǔn)適用于硅基MEMS制造技術(shù)中基于SOI硅片的MEMS器件的加工和質(zhì)量檢驗(yàn)。