本標準規(guī)定了平面磁控濺射光學薄膜用硅靶材的要求、試驗方法、檢驗規(guī)則、標志、包裝、運輸、貯存及訂貨單（或合同）內容。
本標準適用于平面磁控濺射光學薄膜用硅靶材。
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