本標準規(guī)定了電子薄膜制備用高純鋁及鋁合金靶材的要求、試驗方法、檢驗規(guī)則及標志、包裝、運輸、存貯、訂貨單(或合同)等內容。
本標準適用于電子薄膜用各類高純鋁及鋁合金濺射靶材(以下簡稱鋁靶)。