本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了蒸發(fā)金的要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則和標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存。
本標(biāo)準(zhǔn)主要適用于制造半導(dǎo)體器件用芯片時(shí)背金用蒸發(fā)金。