本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了金靶材要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則和標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存及訂貨單（或合同）內(nèi)容。 
     本標(biāo)準(zhǔn)適用于制造半導(dǎo)體電子器件用的各類(lèi)金濺射靶材。