本標準規(guī)定了平面相移干涉儀的術語和定義、型式與基本參數、要求、試驗方法、檢驗規(guī)則、標志、包裝、運輸和貯存。
本標準適用于利用微位移機構檢驗光學平面的面形偏差和平面平晶平面度的平面相移干涉儀。
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