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產品幾何技術規(guī)范(GPS) 表面結構 區(qū)域法 第603部分:非接觸(相移干涉顯微)式儀器的標稱特性

標 準 號: GB/T 33523.603-2022
替代情況:
發(fā)布單位: 國家市場監(jiān)督管理總局 國家標準化管理委員會
起草單位: 清華大學、山東大學、深圳市中圖儀器股份有限公司 等
發(fā)布日期: 2022-12-30
實施日期: 2023-04-01
點 擊 數(shù):
更新日期: 2023年04月05日
內容摘要

本文件規(guī)定了相移干涉法(PSI)輪廓和區(qū)域表面結構測量顯微鏡的計量特性。

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