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砂輪劃片機(jī)完好要求和檢查評(píng)定方法

標(biāo) 準(zhǔn) 號(hào)： SJ/T 31061-1994
替代情況：
發(fā)布單位： 電子工業(yè)部
起草單位： 中國(guó)電子技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究所
發(fā)布日期： 1997-01-01
實(shí)施日期： 1997-01-01
點(diǎn) 擊 數(shù)：
更新日期： 2021年08月31日
內(nèi)容摘要

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了切割分離半導(dǎo)體硅片、石英、陶瓷等材料的砂輪劃片機(jī)的完好要求和檢評(píng)定方法。


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