本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了渦輪分子泵的型式和基本參數(shù)，技術(shù)要求、測試方法、檢驗規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運輸和貯存等。本標(biāo)準(zhǔn)適用于具有前級泵、變頻電源的渦輪分子泵。