本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了輸出功率小于100W且焦點(diǎn)尺寸小于100微米的X射線源發(fā)出的X射線數(shù)字成像檢測(cè)方法。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于檢測(cè)半導(dǎo)體、新能源、電子制造等領(lǐng)域的金屬和非金屬材料。