本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了諧振式傳感器中MENS諧振敏感元件非線性振動(dòng)特性參數(shù)的測(cè)試方法。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于敏感元件在研制和生產(chǎn)過(guò)程中關(guān)于非線性振動(dòng)特性和敏感元件閉環(huán)系統(tǒng)頻率偏移的測(cè)試，其他非MENS敏感元件可參考使用。