本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了拉曼光譜法測定微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS)結(jié)構(gòu)表面殘余應(yīng)力、相對(duì)靜態(tài)應(yīng)力、相對(duì)動(dòng)態(tài)應(yīng)力的方法。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS)結(jié)構(gòu)表面殘余應(yīng)力、相對(duì)靜態(tài)應(yīng)力、相對(duì)動(dòng)態(tài)應(yīng)力的拉曼光譜法測試。?
