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掠入射X射線反射膜厚測量儀器校準(zhǔn)規(guī)范

標(biāo) 準(zhǔn) 號： JJF 1613-2017

替代情況：

發(fā)布單位：國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局

起草單位：中國計量科學(xué)研究院

發(fā)布日期： 2017-02-28

實施日期： 2017-05-28

點擊數(shù)：

更新日期： 2017年10月13日

內(nèi)容摘要

本規(guī)范適用于掠入射X射線反射膜厚測量儀器(以下簡稱儀器)的校準(zhǔn)。

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