本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了原位納米壓痕/劃痕測試儀的術(shù)語和定義、技術(shù)要求、檢驗方法、檢驗規(guī)則、標(biāo)志與包裝等內(nèi)容。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于通過成像裝置進行原位監(jiān)測的固體材料原位壓痕硬度、劃痕硬度和材料參數(shù)試驗用的原位納米壓痕/劃痕測試儀。