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半導(dǎo)體器件 微機(jī)電器件 MEMS總規(guī)范

標(biāo) 準(zhǔn) 號(hào)： GBT 32817-2016
替代情況：
發(fā)布單位： 中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局、中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
起草單位： 中機(jī)生產(chǎn)力促進(jìn)中心等
發(fā)布日期： 2016-08-29
實(shí)施日期： 2017-03-01
點(diǎn) 擊 數(shù)：
更新日期： 2017年03月27日
內(nèi)容摘要

本標(biāo)準(zhǔn)描述了用半導(dǎo)體器件的微機(jī)電器件（MEMS）的總規(guī)范。

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