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硅基MEMS制造技術(shù) 體硅溶片工藝規(guī)范

標 準 號： GB/T 28276-2012
替代情況：
發(fā)布單位： 中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局、中國國家標準化管理委員會
起草單位： 中國電子科技集團第十三研究所、中機生產(chǎn)力促進中心、北京大學、中國科學院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所
發(fā)布日期： 2012-05-11
實施日期： 2012-12-01
點 擊 數(shù)：
更新日期： 2016年12月14日
內(nèi)容摘要

本標準規(guī)定了采用體硅溶片加工工藝進行MEMS器件加工時應(yīng)遵循的工藝要求和工藝評價規(guī)范。
本標準適用于體硅溶片工藝的加工和質(zhì)量檢驗。

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