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磁性濺射靶材透磁率測(cè)試方法

標(biāo) 準(zhǔn) 號(hào): YS/T 1124-2016
替代情況:
發(fā)布單位: 中華人民共和國(guó)工業(yè)和信息化部
起草單位: 有色金屬技術(shù)經(jīng)濟(jì)研究院
發(fā)布日期: 2016-07-11
實(shí)施日期: 2017-01-01
點(diǎn) 擊 數(shù):
更新日期: 2017年11月12日
內(nèi)容摘要

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了磁控濺射用磁性靶材透磁率的術(shù)語(yǔ)和定義、檢測(cè)設(shè)備、檢驗(yàn)過(guò)程及結(jié)果計(jì)算等內(nèi)容。本標(biāo)準(zhǔn)適用于濺射薄膜用各類磁性靶材透磁率的檢驗(yàn)。

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