本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了進(jìn)行電子探針分析時(shí)的入射電子束、波譜儀和試樣的實(shí)驗(yàn)參數(shù)測(cè)定的一般原則，并規(guī)定了束流、束流密度、死時(shí)間、波長(zhǎng)分辨率、背底、分析面積、分析深度和分析體積的測(cè)定過程。