本標準規(guī)定了測試掩模對準曝光機(以下簡稱“曝光機勺的一般要求和方法。

本標準與SJ2665《薄膜介質調諧可變電容器總技術條件》一起使用。

本標準規(guī)定了內圓切片機（以下簡稱切片機）的術語、技術要求、試驗方法、檢驗規(guī)則、包裝儲運等。

本標準規(guī)定了低壓化學氣相淀積(LPCVD)設備的技術術語及薄膜厚度（以下簡稱膜厚）均勻性的計算公式、產(chǎn)品分類、技術要求、試驗方法、檢驗規(guī)則及包裝、運輸、貯存等方面的要求。

本標準規(guī)定了電子束曝光機（以下簡稱曝光機）的術語、技術要求、試驗方法、檢驗規(guī)則等。

本標準規(guī)定了平行繞線機的技術要求、試驗方法、檢驗規(guī)則及標志、包裝、運輸和貯存要求。

本標準規(guī)定了四探針探頭（以下簡稱探頭）的術語、技術要求、測試方法、檢驗規(guī)則、標志、包裝、運輸、貯存要求等。本標準適用于電子和冶金等行業(yè)所使用的四探針法測試半導體棒、片、薄層以及金屬薄層的電阻率、薄層電阻的電陰的探頭。本標準與SJ/T 10314《直流四探針電阻率測試儀…

本標準規(guī)定了空間電荷控制大功率發(fā)射管（以下簡稱電子管）的使用和維護等有關規(guī)則。

本標準規(guī)定了負荷開關用真空開關管的技術要求、試驗方法、檢驗規(guī)則、標志、包裝、運輸及貯存等。

本標準規(guī)定了負荷開關用陶瓷真空開關管詳細規(guī)范（以下簡稱“詳細規(guī)范”）采用的格式和包含的內容。

本標準規(guī)定了壓電陶瓷點火器的性能測試方法。 本標準適用于燃氣器具引燃用壓電陶瓷點火器性能的測試。

本標準適用于金屬膜固定電阻器用陶瓷基體，亦適用于金屬氧化膜固定電阻器用陶瓷基體。

本標準適用于精沖?；顒油鼓Ｊ降湫徒M合座入式典型組合。

本標準適用于精沖模固定凸模式典型組合方形模板典型組合。

本標準適用于精沖模固定凸模式典型組合方形模板典型組合。

本標準適用于精沖模活動凸模式典型組合座入式典型組合。

本標準適用于精沖?；顒油鼓Ｊ降湫徒M合平放式圓形模板典型組合。

本標準規(guī)定了梢沖模零件的技術要求、檢測方法、檢驗規(guī)則、標記、包裝、運輸和貯存. 本標準適用于精沖模零件的生產(chǎn)和驗收(含通用模架零件及模芯)。

本標準適用于精沖?；顒油鼓Ｊ交瑒訉蚰＜茏胧綄菍е＜?。

本標準適用于精沖模活動凸模式滑動導向模架座入式對角導柱模架。

本標準適用于精沖?；顒油鼓Ｊ交瑒訉蚰＜芷椒攀綄菍е＜堋?/div>