本文件規(guī)定了碳化硅單晶生長裝置的產(chǎn)品分類、技術(shù)要求、試驗方法、檢驗規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運輸和貯存以及訂購與供貨。本文件適用于在真空或保護(hù)氣氛下，采用間接電阻加熱生長碳化硅單晶的電熱裝置。采用高頻感應(yīng)加熱的生長碳化硅單晶的裝置參照使用。本文件適用于物理氣相輸運法碳化硅單晶生長裝置，其他方法的碳化硅單晶生長裝置參照使用。