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光掩模制作用圖形發(fā)生器完好要求和檢查評(píng)定方法

標(biāo) 準(zhǔn) 號(hào): SJ/T 31080-2016
替代情況: 替代 SJ/T 31080-1994
發(fā)布單位: 中華人民共和國(guó)工業(yè)和信息化部
起草單位: 中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第十三研究所、中國(guó)電子節(jié)能技術(shù)協(xié)會(huì) 等
發(fā)布日期: 2016-01-15
實(shí)施日期: 2016-06-01
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更新日期: 2023年12月07日
內(nèi)容摘要

規(guī)定了光掩模制作用圖形發(fā)生器的完好要求和檢查評(píng)定方法.

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