本文件界定了微機(jī)電系統(tǒng)器件及其生產(chǎn)工藝相關(guān)的術(shù)語(yǔ)和定義。本文件適用于微機(jī)電系統(tǒng)領(lǐng)域的研究、開(kāi)發(fā)、評(píng)測(cè)和應(yīng)用。
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